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基礎信息Product information
產品名稱:

半導體封裝材料I-V測試平臺/探針臺

產品型號:

廠商性質:生產廠家

所在地:北京市

更新日期:2025-03-12

產品簡介:

半導體封裝材料I-V測試平臺/探針臺,通過杠桿式支架,使用的是彎針探針。相比傳統的直針探針,這種設計不僅點針,而且點針力度大,和樣品的電接觸性較好。

產品特性Product characteristics
品牌華測

半導體封裝材料I-V測試平臺/探針臺




一款溫度范圍-190℃-600℃的探針臺。使用時還可對樣品氣氛進行控制。這樣既可以保證,即使在極低溫度下,腔體也不產生結霜影響實驗,又可以防止樣品發生氧化。此款通過杠桿式支架,使用的是彎針探針。相比傳統的直針探針,這種設計不僅點針,而且點針力度大,和樣品的電接觸性較好。




項目

類別

參數

溫控參數

溫度范圍

負190℃-600℃(負溫需配液氮制冷系統)

傳感器/溫控方式

100Ω鉑RTD/PID控制(含LVDC降噪電源)

大加熱/制冷速度

+80℃/min(100℃時),-50℃/min(100℃時)

小加熱/制冷速度

±0.01℃/min

溫度穩定性

±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃)

軟件功能

可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線

電學參數

探針

默認為錸鎢材質的彎針探針 可選其他種類探針

探針座

杠桿式探針支架,點針力度更大,電接觸性更好

點針

手動點針,每個探針座都可點到樣品區上位置

探針接口

默認BNC接頭(可選三同軸)可增設腔內接線柱(樣品接電引線)

臺面電位

默認為電接地,可選電懸空(作背電極),可選三同軸接口

結構參數

加熱區/樣品區

28mm X 30mm

樣品腔高

6.3MM   樣品大厚度由探針決定

放樣

打開上蓋后置入樣品再點針,關上蓋后無法移動探針

氣氛控制

氣密腔,可充入保護氣體 *另有真空腔型號

外殼冷卻

可通循環水,以維持外殼溫度在常溫附近

臺體尺寸/重量

180mm X 130mm X26mm /1500g

配置列表

基本配置

溫控探針臺、mK200B溫控器、外殼循環水冷系統

可選配件

測試源表、真空系統(僅用于真空型號)、三同軸BNC接口、臺面電懸空、樣品接電引線









二、功能特點

* 可編程精密控溫。可控制,也可從上位機軟件控制

* 探針需開蓋移動,樣品臺面電接地

* 探針,分別導通冷熱臺外殼上的4個BNC接口

* 杠桿式探針支架,點針力度大,電接觸性較好

* 彎針探針,點針精準

* 默認氣密腔室,通問2個快速自鎖接頭,可充保護氣體

* 上蓋帶有樣品觀察窗

* 臺體內置干燥氣體管道,用于負溫時對視窗的除霜

* 視窗可拆卸與更換,可用不同材質窗片實現不同波段光觀察

* 軟件可拓展性強,可提供LabView等語言的SDK


三、可定制更多測試功能

* 介電溫譜測試

* 四探針電阻率測試

* 絕緣電阻測試

 

半導體封裝材料I-V測試平臺/探針臺

 

 

 

半導體封裝材料I-V測試平臺/探針臺

 

 

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